您好,欢迎来到维库仪器仪表网 网站登录 | 免费注册 | 忘记密码

手机访问

光切显微镜阅读:557

狭缝被光源发出的光线照射后,通过物镜发出一束光带以倾斜45°方向照射在被测量的表面。具有齿状的不平表面,被光亮的具有平直边缘的狭缝像的亮带照射后,表面的波峰在S点产生反射。

目录

内容

  光切法显微镜使用方法
  (一)光切法显微镜可用测微目镜测出表面平面度平均高度值RZ,按国家标准,平面度平均高度值RZ与表面粗糙度级别的关系如表2所示。
  表 2

平面度平均高度值RZ/um

相当于原精度等级

50-100

3

25-50

4

12.5-25

5

6.3-12.5

6

6.3

7

3.2

8

1.6

9

  在测量时,所测量的表面范围不少于五个波峰。
  为使测量能正确迅速地进行,要求按表1内所列的数据选择物镜。
  (二)被检工作物的安放和显微镜调焦
  1.被检工件放在工作台上时,测量表面之加工纹路应与显微镜光轴平面平行,即与狭缝像垂直。并使测量表面平行于工作台平面(准确到1°);对于圆柱形或锥形工件可放在工作台上之V型块(17)上。
  2.选择适当的物镜插在滑板上,拆下物镜时应先按下手柄(12),插入所需的物镜后,放松手柄即可。
  3.接通电源变压器(23)和照明灯连线(22),调整粗调手轮和(3)微调手轮(4)调焦在测量平面上,使视场中出现最清晰的狭缝像和表面轮廓像。如果狭缝边缘像(下面边)与表面轮廓像不能同时调清晰时,可稍稍转动手轮(20)。一般情况下,请不要转动它。
  4.旋松测微目镜之固紧螺钉(19),转动测微目镜使其中十字线处于水平,并用螺钉(19)把它固定在这个位置上,此时目镜内分划板运动方向与狭缝像成45°角度。在这以后,就可以进行表面轮廓平面度的测量工作。
  注意:为了正确地对圆柱体进行测量工作,必须同时调整工作台和显微镜,使显微镜精确地调焦在圆柱顶端母线上。为此,需使工作台垂直于圆柱体轴线移动(平行于加工条纹移动),必要时,对显微镜需重新调焦。
  (三)轮廓平面度的测量
  为测量表面轮廓平面度,需使狭缝平行的分划水平线与狭缝清晰边缘(下面边)最高点相切。然后记上在目镜分划板与测微鼓上的读数,再使十字线的水平线与狭缝隙清晰边缘最低点相切,第二次记下分划板与鼓轮的读数,两次读数之差为:
  a=——(2),将式(2)中的N代入式(1)后得
  h=——(3),式中:a—分划板的两次读数差。
  为求出平面度平均高度值RZ,要求取被测轮廓的五个最高点(峰)和五个最低点(谷)之间的平均读数a平均,再按式(3)计算出h,即平面度平均高度值RZ,再可按表2查出表面粗糙度等级。
  (四)带辅助物镜的物镜放大倍数
  为了确定公式(3)中之物镜放大倍数V,在进行轮廓平面测量时需对仪器备有0.01mm的标准刻度尺进行测量。首先将标准刻度尺放在仪器的工作台上,调整标准刻度尺刻线清晰地成像在目镜视场中,并且使其刻线和狭缝像垂直,分划板十字线的运动方向与狭缝像平行。然后将分划板十字线交点对准标准刻尺的一端,按测微目镜的分划板与测微鼓进行第一次读数,见图4。把十字线交点移到标准刻度尺的另一端,再以同法进行第二次读数。此时,测微目镜的两次读数差与标准刻度尺选择段刻度数之比,就是显微镜物镜的放大倍数V。
  (五)表面显微轮廓的摄像
  为了能在光切法显微镜上对显微轮廓进行摄像,仪器上可安装数码摄像装置(需另购适配镜和数码相机)。摄像时,根据上述(二)的方法,在目镜中得出清晰的像后,转动手轮(21)到摄像部位,然后参照数码相机的使用说明书进行操作、调焦,直至数码相机视屏中图像轮廓清晰,线条分明。此时h=
  式中:C—相片上平面度成像的高度
  (可直接从相片上测量出来);
  M—系统的总放大倍数
  (通过仪器对标准刻度尺摄像,在相片上直接测量标准刻度成像,以测得成像数值与标准刻度尺选择段刻度数之比,即为放大倍数M)。
  (六)测量平面度方法举例
  1.物镜放大倍数的确定:假定标准刻度尺选择线段为80格,即0.8mm。在测微目镜中对此刻线段的读数值为6.4mm。仪器上安装的物镜组为14×N.A.0.20,此时物镜的放大倍数V=
  2.测量工件表面粗糙度:根据上述(三)的方法,从测微目镜中得出五个最高点和五个最低点的读数值,例:ah1=4.800mm,ah3=4.750mm,ah5=4.900mm,ah7=4.850mm,ah9=4.900mm,ah2=4.695mm,;ah4=4.655mm,ah6=4.790mm,,ah8=4.740mm,ah10=4.800mm,可求得
  =
  3.根据V与a,求得平面度平均高度RZ=
  4.根据表2查得表面平面度平均高度值RZ为6.3-12.5um(相当于原光洁度6级)
  光切法显微镜维修和保养
  光切法显微镜系精密光学仪器,为维持仪器的原有精度和延长仪器的使用寿命,保证测量工作的顺利进行,故对仪器必须细心的保养和使用。
  1.仪器使用和安放地点须避免灰尘、潮湿、过冷、过热及酸碱性的气体。
  2.仪器使用环境要求:室内温度15-25,湿度45%-85%。
  3.平时仪器不用时,应有保护罩盖住,并放置干燥剂。
  4.透镜表面若有灰尘,应先用软毛笔拭去,方可进行拭擦。
  5.透镜的拭擦采用脱脂的棉花、纱布或透镜纸,透镜表面若有油渍时,可用脱指棉沾以少许酒精和混合液(或)轻轻擦拭。
  6.仪器立柱及未涂漆的其它外表面,要涂以薄层润滑油脂,对机械部分所附油脂,因日久硬化或灰尘积累,必须清洗,然后再擦上少许润滑油脂。
  7.仪器出厂前皆经过慎重校验,为了保持原有精度,除允许移动的部分外,其余部分如必须拆卸修理,应送有关修理部门或专责人员指导下方可进行.

概述

  光切显微镜原理
  仪器是采用光切法测量被测表面的微观平面幅度。
  产生反射
  波谷在S′点产生反射,通过观测显微镜的物镜,它们各成像在分划板的a和a′点。在目镜中观察到的即为具有与被测表面一样的齿状亮带,通过目镜的分划板与测微器测出a点至a′点之间的距离N,被测表面的微观平面度h即可得出。

仪器百科,仪器仪表知识,一查百通!

已收录词条7364