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气体计量在现代工业生产过程中占有重要地位，一方面，新工艺和新技术等制约其发展的关键领域的突破，尤其是微电子技术的迅速发展，使微量气体计量由机械式向智能化、模块化方向发展，其应用范围得到了极大的扩展；另一方面，随着环境监测、航空航天等应用领域对气体计量准确度要求的不断提高，对气体计量可靠校准和溯源的研究越来越受到重视。6
超微量气体流量计适用于检测微小气体流量，在精密半导体产业、气体泄漏探测、真空镀膜等领域有着广泛的应用。
测量范围：最小流量为1毫升/天（ml/d），流量为50升/天（L/d）。
测量精确度：<1%。
测量分辨率：<1mL。
通道数：4通道、8通道、16通道。
数据显示：PC端界面数据、图形结合显示。
适用范围：可用于各种常规气体及轻微腐蚀气体的测量。
用于超微流量气体计量，测量精度可达ppm级别，可适用于普通气体、惰性气体、稀有气体及轻微腐蚀性气体的测量。适用于氢能、太阳能、沼气技术、环境微生物降解、污水处理、燃料电池等研究领域。
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