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全自动内圆切片机是一种用于高精度切割硬脆材料(如硅、锗、石英、蓝宝石、陶瓷等)的专用设备,广泛应用于半导体、光伏、光学和电子等行业。

优缺点

  1.优点:

  切割精度高、表面质量好;

  材料损耗低(刀缝可窄至0.1 mm);

  自动化程度高,适合批量生产;

  切割应力小,减少崩边和微裂纹。

  2.缺点:

  内圆刀片制造复杂、成本高;

  刀片更换和张紧需专业操作;

  对冷却系统和水质要求高;

  不适合超大尺寸或超厚材料切割。

基本结构

  1.内圆刀片系统

  刀片为环形金属基体,内缘电镀或烧结金刚石磨料。

  刀片高速旋转,工件相对进给,实现线性切割。

  相比外圆切片机,内圆刀片刚性更好、切缝更窄、材料损耗小。

  2.自动送料与夹持系统

  采用伺服电机或步进电机驱动工件进给。

  配备高精度夹具,确保工件定位稳定。

  3.冷却与排屑系统

  使用去离子水或专用冷却液喷淋,降低切割温度、延长刀片寿命。

  自动过滤和循环冷却液,保持加工环境清洁。

  4.控制系统

  基于PLC或工业计算机,集成人机界面(HMI)。

  可预设切割参数(如进给速度、切割深度、主轴转速等)。

  支持自动对刀、厚度检测、异常报警等功能。

  5.安全与防护

  全封闭防护罩,防止冷却液飞溅和碎片飞出。

  配备急停按钮、门禁联锁等安全装置。

应用领域

  1.半导体行业:硅晶圆、碳化硅(SiC)、砷化镓(GaAs)晶锭切片。

  2.光伏产业:单晶硅/多晶硅棒切片。

  3.光学材料:石英、蓝宝石、YAG激光晶体等。

  4.电子陶瓷:氧化铝、氮化铝基板切割。

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