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主要涵盖了亚纳米量级粗糙度测量到毫米尺度台阶高度测量。可满足研发、磨损分析、失效分析及工艺控制等领域的需求。
1、系统包含了完整版的Vision分析软件，该软件是行业内功能最全的分析软件，可实现二维和三维的数据分析及可视化功能；
2、提供了200余种分析工具，包括自动测序功能、数据记录和实时反馈及统计控制过程的合格/不合格标准；
3、可选的MATLAB软件包可以定制专门的数据分析用户界面。
1、测量设置简单易学；
2、高速数据采集能力；
3、强大的数据分析能力以及0.1纳米量级的测试重复精度；
4、尺寸较小配置灵活；
