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通常，对低真空和高真空的测量不能用一种真空计来完成，而应采用复合真空计，应用较多的是电离与热偶式复合真 空计。它的测量范围为13.33--666.6×10-8Pa。热偶真空计测量(10-1--10-3)×133.32Pa的低真空；电离真空计测量 133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。复合真空计附有一个热偶规管、一个电离规管，分别接在真空系统上，通过旋钮可分别给两个规管加热，并选择使用。
(1)连接好热偶规、电离规和仪器的电缆，插头不可接错，插错将烧坏规管。
(2)低真空测量使用热偶规时，开关放在“加热”位置，旋电流调节旋钮使加热电流为给定值。再将开关拨在“测量”位置，从表上即可
读取真空度。
(3)低真空测量使用电阻规时，要进行“零点”和“满度”校准。
(4)使用电离规时，按电离真空计操作执行。
(5)测量过程中整个系统电源电压必须恒定。当真空度低于0.1Pa时，不能使用电离规。
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