微量防爆氧分析仪阅读：17

　　1.监测惰性气体（如氮气、氩气、氢气）中的残余氧含量；

　　2.控制反应釜、储罐、管道在置换或保护过程中的氧浓度；

　　3.防止因氧浓度过高引发燃烧或爆炸（尤其在氢气、烃类环境中）；

　　4.保障高纯工艺气体（如电子特气）的品质；

　　5.锂电池注液、化成等工序中的气氛保护监控。

　微量防爆氧分析仪通常采用以下传感技术之一：

　　1.电化学（燃料电池型）传感器

　　氧气在阴极被还原，产生与氧浓度成正比的电流；

　　优点：成本低、功耗小、线性好；

　　缺点：寿命有限（通常1–3年），易受酸性/碱性气体干扰；

　　适用范围：0–10 ppm至0–1000 ppm。

　　2.氧化锆（ZrO?）高温传感器

　　利用氧化锆在高温下对氧离子的导电性，通过能斯特方程计算氧分压；

　　优点：响应快、寿命长、耐高温；

　　缺点：需加热至650℃以上，功耗高，不适合超低ppm测量；

　　多用于百分比级或高ppm氧分析，较少用于“微量”场景。

　　3.激光光谱法（TDLAS）

　　采用可调谐二极管激光吸收光谱技术，针对氧分子特定吸收线进行检测；

　　优点：无需采样、无消耗、精度高（可达ppb级）、抗干扰强；

　　缺点：成本高，对光学窗口清洁度要求高；

　　适用于高要求工业现场或半导体洁净室。

　　为满足危险场所使用要求，仪器必须通过国家或国际防爆认证：

　　1.隔爆型（Ex d）：外壳能承受内部爆炸而不引燃外部环境；

　　2.本安型（Ex i）：电路能量限制在无法点燃爆炸性混合物的水平；

　　常见认证：中国NEPSI/CNEX、欧盟ATEX、国际IECEx；

　　通常整机（包括传感器、接线盒、显示单元）均需取得相应防爆等级（如Ex d IIC T6或Ex ia IIC T4）。

　　1.测量范围：常见0–10 ppm、0–100 ppm、0–1000 ppm（可定制）；

　　2.分辨率：0.1 ppm或更高；

　　3.精度：±1%FS或±0.1 ppm（取大者）；

　　4.响应时间（T90）：＜30秒（取决于采样系统）；

　　5.输出信号：4–20 mA、RS485（Modbus）、HART等；

　　工作环境：温度-20℃~+60℃，湿度＜90%RH（无冷凝）。

　　1.石化行业：乙烯装置、聚烯烃反应器氮气置换后的氧残留监测；

　　2.煤化工：合成气、氢气管网中的氧杂质控制；

　　3.锂电池工厂：注液房、干燥房内氮气保护气氛的氧含量监控（要求≤10 ppm）；

　　4.半导体制造：CVD、PVD工艺腔体吹扫气体纯度验证；

　　5.空分装置：高纯氮/氩产品中微量氧在线检测。

　　1.确认防爆区域等级（如Zone 1/Zone 2，Class I Div 1等），选择对应认证的型号；

　　2.注意采样系统设计：使用不锈钢或钝化管路，避免吸附或渗透引入误差；

　　3.定期校准：使用高纯氮（零点）和标准氧/氮混合气（量程点）进行两点校准；

　　4.避免交叉干扰：如氯气、硫化氢、高浓度CO₂可能影响电化学传感器寿命；

　　5.优先选择带自动标定或诊断功能的智能仪表，提升运维效率。