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测角仪（goniometer）通指量度角度大小的装置，又称测角器、测角计、角度计、量角仪等。现指波长色散X射线荧光光谱中的测角系统。它以转臂传动机构进行角度测量。
1、清洗正多面棱体，并对棱镜及棱体恒温。
2、调整仪器使仪器处于正常工作状态下，并检查外观，仪器应能平稳的工作，读数装置视场亮度应均匀。开关按扭应可靠的工作。金属度盘刻度方向及示值应一致。
3、用自准仪检查工作台的工作面的直线度和平面度。
4、用心轴、测微表检定工作台的平行度和的斜向圆跳动。
5、示值误差检定：选用标准正多面棱体和自准直仪做标准，将棱体借助心轴固定在分度头上，仪器度盘位于0°位置，调整多面棱体，使其0°工作面与自准直仪照准，在分度头读数装置中读数，然后转动分度头，使度盘分别为30°…60°…330°位置，每个测回的示值用与最小之差来确定。
精度高---测角精度可达±0.3秒
寿命长---主轴采用气浮结构，精度保持长久，永不磨损，使用寿命长
读数系统采用进口的高精度位相光栅编码器及其相关技术
光栅刻线条数达16300线/圆度。
刻线宽度为0.1чm。准确度高，稳定性好。
瞄准系统采用以图象传感器探测信号的自准仪，精度高。
主轴精度：±0.02чm
角度传感器绝度精度：0.3秒
单次测角精度：±1秒
多次测角精度：±0.5秒
CCD分辨率：0.03秒
CCD重复性：±0.2秒
承载重量：50kg
