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霍尔效应测试仪是用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要参数,而这些参数是了解半导体材料电学特性必须预先掌控的,因此是理解和研究半导体器件和半导体材料电学特性必备的工具。
变温,常温和液氮温度(77K)下测量;
阻抗:10-6to107
载流子浓度(cm-3):107-1021
样品夹具:
弹簧样品夹具(免去制作霍尔样品的麻烦);
测量材料:所有半导体材料包括Si,ZnO,SiGe,SiC,GaAs,InGaAs,InP,GaN(N型&P型均可测量)
仪器尺寸(WxDxH):260*220*180mm
1、高精密度电流源
输出电流之精确度可达2nA,如此微小之电流可用于半绝缘材料之量测,即高电阻值材料之量测。
2、高精密度电表
使用超高精度电表,电压量测能力可达nV等级,上限可达300V,极适合用于量测低电阻值材料。
3、外型精简、操作简单
外型轻巧、美观大方,磁铁组之极性更换也很灵活容易,独特之液氮容器设计,可确保低温量测之稳定性。
4、I-V曲线
采用图表的方式,测量探针四点(A、B、C、D)间电流-电压曲线,藉此评判样品的欧姆接触好坏。
5、单纯好用之操作画面
使用者只需在同一张操作画面中,就可以完成所有的设定,实验结果由软件自动计算得到,并在同一张画面中显示出来,省却画面切换的麻烦,结果可同时得到体载流子浓度(BulkCarrierConcentration)、表面载流子浓度(SheetCarrierConcentration)、迁移率(Mobility)、电阻率(Resistivity)、霍尔系数(HallCoefficient)、等重要实验数据。
6、自行开发之弹簧样品夹具,特殊设计之弹簧探针,其强度加强可改善探针与接触点之电气接触,提高量测之可靠度。