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采用电弧发生器或火花发生器（激发光源），使被分析物质和电极之间产生电弧或火花，被分析的物质及组成电极的物质，被电弧或火花激发放射出光来，此光进入看谱镜后，形成按波长次序排列的光谱。不同元素被激发时，所形成的光谱互不相同，观察区分不同元素在光谱上的区别，即可测定被分析物质的化学成份。当光谱中出现某一种元素的特征谱线时，即表明试样中有这种元素的存在。利用谱线的亮度，可确定该元素含量的多少。
有实验室用台置式及现场分析用便携式两种。它是由色散元件、狭缝、准直管和物镜构成。光源辐射经玻璃棱镜或光栅色散后，谱线聚焦在焦面的目镜上识谱，进行目视测量。
