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电子式水平仪，它用来测量高精度的工具机，如NC车床、铣床、切削加工机、三次元量床等床面，其灵敏度非常高，若以测量时可左右偏移25刻度计算，测量工件只在一定的倾斜范围内均可测量。
对刮研平板的检测，电子水平仪提供了简单灵活的方法。而运用电子水平仪检测的重点在于根据所检测平板的大小确定跨距的长短及其所对应的桥板。在检测过程中桥板的移动必须要相连，这是保证检测接近真实值最主要的。
电子水平仪一般利用光电原理，以平静液体面为水平面，测量出物体偏离水平面方向和角度值并转换成数字信号传送给计算机或显示出来。电子水平仪的测量系统主要由机械结构、传感器、数据采集、微处理器、数码显示或输出5部分构成。
电子水平仪原理有电感式和电容式等两种。根据测量方向不同还可分为一维和二维电子水平仪. 电感式原理：当水平仪的基座因待测工件倾斜而倾斜时，其内部摆锤因移动所造成感应线圈的电压变化。电容式水平仪其测量原理为一圆形摆锤自由悬挂在细在线，摆锤受地心重力所影响，且悬浮于无摩擦状况。摆锤的两边均设有电极且间隙相同时电容量是相等，若水平仪受待测工件所影响而造成，两间隙不同距离改变即产生电容不同，形成角度的差异。
以指针式指示装置指示测量值的仪器称为指针式电子水平仪，以数显式指示装置指示测量值的仪器称为数显式电子水平仪。
扩展量程装置
仪器若已处于测量的极限位置，重新调整到零位，从而在该水平位置上，进行更大量程测量的一种装置。
调整装置
仪器被调整到零位（零位或相对零位）的装置。
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