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利用原级
X射线或其他光子源激发待测物质中的原子,使之产生荧光(次级X射线)。从而进行物质成分分析的仪器。X射线荧光光谱仪又称XRF光谱仪，有色散型和非色散型两种。色散型又分为波长色散型和能量色散型。波长色散型XRF光谱仪由X射线管激发源，分光系统，探测器系统，真空系统和气流系统等部分组成。根据分析晶体的聚焦几何条件不同,分为非聚焦反射平晶式,半聚焦反射弯晶式，全聚焦反射弯晶式，半聚焦透射弯晶式等。其原理是:试样受X射线照射后，元素的原子内壳层电子被激发，并产生壳层电子跃迁而发射出该元素的特征X射线，通过探测器测量元素特征X射线的波长(能量)的强度与浓度的比例关系，便可进行定量分析。
优点
不破坏样品，分析速度快，适用于测定原子序数4以上的所有化学元素，分析精度高,样品制备简单。
