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自动三坐标测量仪（英文CNC）三坐标的一种，CNC式三坐标测量仪除了具有马达驱动式的功能之外，还可自动依照计算机所预先设定的程序执行测量，甚至有些厂商出品的三坐标测量仪，也提供了自动装拆工件。CNC式三坐标测量仪除提供尺寸测量 ( 点到点的测量 ) 外，也可作曲面的轮廓测量 ( 点到点的测量及扫瞄测量 )。
主要用于机械、汽车、航空、军工、模具等行业中的箱体、机架、齿轮、凸轮、蜗轮、蜗杆、叶片、曲线、曲面等的测量。
1、X向横梁：采用精密斜梁技术
2、Y向导轨：采用独特的直接加工在工作台上的整体下燕尾槽定位结构
3导轨方式：采用自洁式预载荷高精度空气轴承组成的四面环抱式静压气浮导轨
4、驱动系统：采用本产高性能DC直流伺服电机、柔性同步齿形带传动装置，各轴均有限位和电子控制，传动更快捷、运动性能更佳
5、Z向主轴：可调节的气动平衡装置，提高了Z轴的定位精度
6控制系统：采用进口的双计算机三座标专用控制系统
7、机器系统：采用计算机辅助3D误差修正技术（CAA），保证系统的长期的稳定性和高精度。
8、测量软件：采用功能强大的3D-DMIS测量软件包，具有完善的测量功能和联机功能
1、长度测量最大允许示值误差MPEE，‘用户可在限定的范围内随意选择5个不同的尺寸实物标准器的7个不同位置和方向。在7个不同位置和方向中的任一个，对5个尺寸的实物标准器的每一个测量3次，只进行向内或向外的双向测量。计算105次测量的每个尺寸测量的示值误差E，其值取示值与每个尺寸实物标准器的真值之差。坐标测量机尺寸测量的示值误差E不大于由制造商规定的坐标测量机尺寸测量的最大允许示值误差MPEE，则被通过。”
2、最大允许探测误差MPEP，‘检测球，标称直径不小于10mm并不大于50mm。用户可在限定的范围内随意选择探球的方位和检测球的安装位置。建议探球的方位不与坐标测量机任一轴平行。测量并记录25个点。各点在检测球的半球上应尽可能均匀分布。”
3、各点的位置由用户自行选定，如未规定，则推荐以下探测布点。检测球的极点(由探球轴的方位确定)处1个点；
极点下方22．5。处4个点(相互等间距)；
极点下方45。并相对前一组转22．5。处8个点(相互等间距)；
极点下方67．5。并相对前一组转22．5。处4个点(相互等间距)；
极点下方90。(即平分球体面上)并相对前一组转22．5。处8个点(相互等间距)。
通过验收和相关的探球标定，可以将测量的硬件手段准备完毕。
在测量前，当然还需根据各自使用的机器，对使用探球进行标定，以获取探球的方向、测杆的长度以及探球的半径。
但在具体测量时，还是需要对测量零件的测量点进行准确定位。
