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辉光放电光谱仪的工作原理主要是通过辉光放电产牛电子，利用电场加速电子并与中性原子或分子碰撞，激发它们到较高的能级。当这些受激粒子回到基态时，它们会发出特定波长的光，通过光谱仪进行分析和测量。
1.分辩率高于0.024nm。
2.有效波长范围：119nm-800nm。
3.最多能实现64个元素同时测定。
4.分析样品厚度范围为：0.1nm-45nm。
1.满足各个复杂基质样品的元素总量分析。
2.进行表面各元素深度变化的定量薄层分析。
3.可完成其他发射光主谱仪从未涉及的样品类型的分析。
1.可以直接分析固体样品，无需将样品转化为溶液或气态。
2.具有较高的灵敏度和较低的检测限，可以检测到低浓度的元素。
3.可以同时分析多种元素，具有较高的分析速度。
4.适用于各种材料的分析，包括金属、合金、半导体等。
辉光放电光谱仪主要由以下几个部分组成：
1.电源和控制器
提供所需的电压和电流，控制辉光放电过程。
2.样品室
放置同体样品的地方。
3.光谱仪
用于分析和测量发出光的波长和强度。
4.数据处理系统
处理和分析测量数据，输出结果。
5.安全保护装置
保护仪器和操作人员安全。
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