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1.高分辨率:可检测微小压力变化(达Pa级甚至更低)。
2.数字输出:频率信号本身是数字量,抗干扰能力强,便于远距离传输。
3.长期稳定性好:无滑动触点,磨损小。
4.自诊断能力:可通过监测谐振波形判断传感器状态。
1.石英谐振式压力传感器
利用石英晶体的压电效应和谐振特性。
温度稳定性好,精度高(可达0.01%FS)。
常用于标准压力计或校准设备。
2.硅微机械谐振式压力传感器(MEMS)
采用微加工技术在硅片上制作谐振梁或膜片。
体积小、成本低、易于集成。
需要温度补偿电路以提高稳定性。
3.音叉式谐振压力传感器
类似于音叉结构,受压后刚度变化引起频率漂移。
抗干扰能力强,适合恶劣环境。
1.航空航天
用途:测量飞行器的静压、动压、高度、空速等。
优势:在高空低压环境下仍能保持高精度;频率信号抗电磁干扰,适合机载复杂电磁环境。
实例:
民航客机的大气数据系统(ADS)
导弹或卫星的舱内压力监控
风洞实验中的高动态压力测量
2.气象与环境监测
用途:高精度大气压力记录,用于天气预报、气候研究。
优势:长期漂移小,适合无人值守自动气象站。
实例:
国家基准气象站的压力传感器
高空气球或探空仪中的微型谐振式气压计
3.工业过程控制与校准
用途:作为标准压力源或高精度在线监测设备。
优势:可作为压力标准器(如0.01%FS精度),用于校准其他类型压力表。
实例:
石油化工中的反应釜压力监控
实验室压力校准台(如福禄克、GE Druck的高精度压力校验仪)
4.医疗与生物工程(高端/研究级)
用途:需要极高稳定性和洁净度的压力测量。
注意:因成本高,多用于科研而非普通临床。
实例:
呼吸力学研究中的气道压力监测
人工心肺机(ECMO)中的精密压力反馈
脑脊液或眼内压的长期动物实验监测
5.海洋与深海探测
用途:水下深度(通过静水压力换算)测量。
优势:耐腐蚀设计+频率信号远传能力强。
实例:
深海潜标、AUV(自主水下航行器)的压力深度传感器
海底地震监测站的环境压力记录
6.能源与电力
用途:核电站、燃气轮机等关键设备的压力监控。
优势:本质安全(无火花)、长期免维护。
实例:
核反应堆冷却回路压力监测
天然气管道的高精度泄漏检测系统