万用表/多用表电流表/钳形电流表电压表电源电能表校验装置无功功率表功率表电桥电能质量分析仪功率因数表电能（度）表介质损耗测试仪试验变压器频率表相位表同步指示器电阻表（阻抗表）电导表磁通表外附分流器 更多>>
流量检测仪表物位检测仪表记录/显示仪表机械量检测仪表温度检测仪表执行器显示控制仪表压力检测仪表过(流)程分析/控制仪表过程仪表阀门透视仪工业酸度计溶氧仪超声界面计校验仪仿真器其他工业自动化仪表 更多>>
检漏仪电火花检测（漏）仪超声检测仪其它探伤仪金属探测仪涂层检测仪其它硬度计测振仪频闪仪动平衡仪涂层测厚仪超声波测厚仪橡胶塑料测厚仪壁厚测厚仪塑料薄膜片测厚仪镀层测厚仪其它测厚仪维氏硬度计洛氏硬度计布氏硬度计 更多>>
光谱膜厚仪主要分为两大类技术路线：
1.椭圆偏振法
原理：测量偏振光在样品表面反射后偏振状态的变化（振幅比Ψ和相位差Δ）。
特点：精度极高（可达亚纳米级），不仅能测厚度，还能反演折射率(n)和消光系数(k)。对极薄薄膜（＜10nm）非常敏感。
适用：半导体晶圆、光刻胶、超薄氧化层、多层复杂结构。
2.光谱反射/透射法
原理：利用白光照射薄膜，薄膜上下表面的反射光发生干涉，形成特定的干涉条纹（光谱振荡）。通过分析光谱曲线的周期和幅度来计算厚度。
特点：测量速度快，通常用于在线检测，设备成本相对较低。
适用：ITO导电膜、光学镀膜、太阳能电池背板、PCB线路板、塑料薄膜。
1.半导体制造：测量栅极氧化层、多晶硅、金属互连层、CMP（化学机械抛光）后的薄膜厚度。
2.平板显示(FPD)：OLED、LCD面板中的彩色滤光片、封装层、TFT阵列层厚度控制。
3.光伏产业：硅基太阳能电池的减反射膜、钝化层厚度监测。
4.光学元件：镜头、滤光片上的增透膜、高反膜厚度校准。
5.材料研发：纳米材料、石墨烯、二维材料的厚度表征。
如果您正在考虑采购，建议关注以下参数：
1.测量范围：是测几纳米的超薄层，还是几十微米的厚膜？
2.精度与重复性：通常要求精度优于1%或达到亚埃级别。
3.测量速度：实验室离线测试vs产线在线实时监测（在线通常需要毫秒级响应）。
4.光斑大小：是否需要微米级的局部测量能力（小光斑）。
5.样品兼容性：是否支持曲面、不透明基底或特殊角度入射。
仪器百科，仪器仪表知识，一查百通！
已收录词条14740个
