纳米压痕仪阅读：2493

    加载载荷：400mN
    载荷分辨率：30nN
    可实现的最小载荷：1.5?N
    位移分辨率：0.003nm
    可实现的自小位移：0.04nm
    可实现的位移：250?m
    热漂移：<0.05nm/s(室温条件下)
    DMA模式：20Hz

    1、完全符合ISO14577、ASTME2546
    2、光学显微镜自动观察
    3、独特的热漂移控制技术
    4、可硬度、刚度、弹性模量、断裂刚度、失效点、应力－应变、蠕变性能等力学数据。
    5、适时测量载荷大小
    6、采用独立的载荷加载系统与高分辨率的电容深度传感器
    7、快速的压电陶瓷驱动的载荷反馈系统
    8、双标准校正：熔融石英与蓝宝石

    半导体技术(钝化层、镀金属、Bond Pads)；存储材料(磁盘的保护层、磁盘基底上的磁性涂层、CD的保护层)；光学组件(接触镜头、光纤、光学刮擦保护层)；金属蒸镀层；防磨损涂层(TiN, TiC, DLC, 切割工具)；药理学(药片、植入材料、生物组织)；工程学(油漆涂料、橡胶、触摸屏、MEMS)等行业；

    纳米压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性薄膜等等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物和有机材料等。