白光干涉仪阅读：19

　　1.非接触式测量

　　白光干涉仪通过光学干涉原理进行测量，无需接触被测物体，从而避免了传统接触式测量可能对物体造成的损害。

　　2.高精度测量

　　白光干涉仪可以实现纳米级分辨率的测量，垂直分辨率可以达到0.1nm，适用于微纳尺度的高精度测量。

　　3.三维表面测量

　　该仪器能够测量表面高度范围为1nm到200μm，适用于各种尺寸的表面形貌测量。

　　4.多重视野镜片

　　配备多重视野镜片，方便物镜的快速切换，适用于不同的测量需求。

　　5.高速数字信号处理器

　　内置高速数字信号处理器，能够实现快速测量，通常只需几秒钟即可完成一次测量。

　　6.闭环控制系统

　　配备扫描仪和闭环控制系统，确保测量的稳定性和准确性。

　　7.工作台设计

　　采用气动装置，具有抗震、抗压的特性，适合在复杂环境中使用。

　　8.用户界面友好

　　基于Windows操作系统的测量软件，界面友好，操作简便。

　　白光干涉仪的原理是通过将一束白光分成两束，分别经过不同的路径后再次合并，形成干涉条纹。这些干涉条纹的变化可以用来测量被测物体的几何长度、折射率等物理量。具体来说，光源发出的光经过分光棱镜分成两束，一束光经过待测表面反射，另一束光经过参考镜反射。两束相干光间光程差的任何变化都会导致干涉条纹的移动，通过测量干涉条纹的变化，可以精确地测量被测表面的相关物理量。

　　1.仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内，防止振动，仪器搬动 时，应托住底座，以防导轨变形。

　　2.光学零件不用时，应存放在清洁的干燥盆内，以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭，必要擦拭时，须先用备件毛刷小心掸去灰尘，再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和乙醚混合液轻拭。

　　3.传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分，应用T5精密仪表油润滑。

　　4.使用时，各调整部位用力要适当，不要强旋、硬扳。

　　5.导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后，仍保持不失油状态。

　　6.经过精密调整的仪器部件上的螺丝，都涂有红漆，不要擅自转动。

　　1.制造业

　　在精密零件加工质量控制、铸造模具表面形态检测等方面有重要应用。例如，用于测量机器工具的精度、表面粗糙度以及微小变形等，帮助提高产品的加工精度和一致性。

　　2.材料科学

　　用于测量薄膜厚度、材料折射率等参数，帮助研究人员了解材料的性能特点和应用潜力。

　　3.生物医学

　　用于细胞及组织的三维重建、血液流动速度的测量等，为生物医学研究提供重要数据。

　　4.半导体制造与检测

　　在半导体芯片制造过程中，用于测量芯片表面的形貌、薄膜厚度、台阶高度等参数，确保芯片的性能和可靠性。

　　5.光学元件制造与检测

　　用于透镜、棱镜等光学元件的表面质量和形貌测量，确保光学系统的设计和优化。

　　6.机械加工与质量检测

　　测量机器零件的表面缺陷和磨损情况，为设备的维护和保养提供支持。

　　7.生命科学研究

　　用于测量细胞、细菌等微观生物体的形态和结构，研究生物分子的相互作用和形变过程。

　　8.汽车零部件制造

　　测量汽车发动机零部件的表面粗糙度、平面度、圆柱度等参数，确保汽车的性能和可靠性。

　　1.干涉环不圆正

　　原因：

　　（1）分光板膜层面反向。

　　（2）两组出射光瞳错位。

　　（3）分光板、补偿板、移动镜及参考镜有压应力。

　　检修方法：分光板膜层应是入射光的第二面，如装在第一面，则调出的等倾干圆涉环是直的椭圆形干涉环，可旋松分光板的三只宽头螺钉，取出分光 板，反过180°重新装入金属框内，把三只宽头螺钉旋到原来的压紧力。分光板调整请参考故障检修方法。分光板，补偿板的宽头螺钉，移动镜及参考镜的调节滚花螺钉压紧 力过大，使各镜片逐步变形产生等倾干涉圆环不规则，适当放松过紧的 螺钉即可消除。

　　2.读数空位大于 0.03mm

　　原因：

　　（1）传动螺母和丝杆的配合间隙大。

　　（2）拖板体下面的顶块间隙偏大。

　　（3）档板与导轨配合过松。

　　检修方法：可先调整顶块间隙，拖板体在工作状态下旋松顶块螺钉，左手大拇 指将拖板体向读数头方向轻推，中指压紧顶块，然后固紧顶块螺钉。如果仍未达到要求，调整档板与导轨的间隙达 0.02mm，再调节传动螺母上 的两只螺钉（老产品有四只）。

　　3.转动粗动手轮时拖板不走。

　　原因：

　　（1）仪器受强烈冲击后，丝杆向尾架方向脱出，造成读数头啮合齿轮错位。

　　（2） 传动小齿轮固紧螺母松动， 造成传动小齿轮与丝杆打滑。

　　（3）大齿轮及粗动手轮的压紧螺母松动。

　　检修方法：首先检查粗动手轮压紧螺母，然后检查精密丝杆是否向尾架方向脱出，如已脱出，可松动尾架三只螺钉，一面将丝杆推向读数头，一面慢慢转动粗动手轮，最后旋紧尾架三只螺钉，如果是小齿轮固紧螺母和大齿轮固紧螺母松动，先拆去传动盒盖，再拆下门字架，固紧螺母，重新依次装配即可。

　　4.转动微动手轮时拖板不走。

　　原因：

　　（1）传动小齿轮压紧螺母松，使盆形弹簧片无压紧力，造成 蜗轮空转。

　　（2）粗微动有脱开机构的干涉仪，蜗杆压紧弹簧片失灵。

　　（3）微动手轮压紧螺母松。

　　检修方法：先检查微动手轮的压紧螺母。然后打开传动盒盖，取下门字架，旋紧传动小齿轮压紧螺母，使盆形弹簧片压紧蜗轮，此时转动蜗轮应带动精密丝杆，依次装好拆下的另件。 如果是脱开机构，应检查蜗杆拖板是否已被压死。如被压死，可拆 下左右压块，清洗、上油（7101 油脂）重新装配即可，如蜗杆拖板较松，说明蜗杆拖板的弹簧压力减小，（1）可拆下弹簧改小 R 增加弹性。（2）调换弹簧片。

　　5.转动粗动手轮时，等倾干涉环从中心向外漂移。

　　原因：入射的光源不垂直于移动镜。

　　检修方法：此种现象，并非仪器故障，主要是入射的光源不垂直于移动镜，因多数易误解为导轨直线性不好所致，故亦在此说明。首先调整干涉仪三只底脚调平螺钉，使仪器基本按放水平，然后调整光源，使扩束激光充满固定镜，将移动镜调至零光程附近，转动粗动手轮调等倾直条纹，说明扩束激光基本垂直于移动镜，此时转动粗动手轮出现的干涉圆环就不 会漂移。

　　6.白光干涉条纹不对称。

　　原因：

　　（1）受运输冲击或使用过程中碰过分光板和补偿板两板平行 度已被破坏。

　　检修方法：调整分光板与补偿板的平行性，在没有自准直仪时，可通过两板同时观察室内目标物。如日光灯，调节两板上的宽头螺钉，使双象基本重合，这时调出的白光彩色条纹可达到基本对称，如仍有不对称现象，可调节补偿板的三只宽头螺钉达到完全对称。

　　7. 波长测定值偏长。

　　原因：

　　（1）拖板体测面弹簧片压力太紧。

　　（2）档板与导轨配合过紧。

　　（3）导轨面润滑油脂太厚。

　　（4）蜗轮稍有打滑。

　　（5）丝杆尾架压紧力偏小。

　　检修方法：先检查拖板体测面的弹簧片是否太紧，如太紧可将弹簧变形减少压力的办法解决。第二取下拖板体，检查开合螺母上的档板与导轨面的配合是否过紧，如过紧可调整档板，旋松两只螺钉，提高档板与导轨接触 处垫入 0.02mm 厚的锡片，放下档板，固紧螺钉，拿掉锡片。第三导轨如加上厚的油脂，会使拖板增加阻尼或厚的油脂上带有杂质，会使拖板不 按导轨直线移动。应清洗后重新上油。第四检查尾架内的弹簧，如压紧 力偏小，可把滚花螺套旋出，将弹簧拉长即可。如遇蜗轮稍有打滑，检修时必须小心拆装，先拆下传动盒盖，拆下门字架，取下小钢球，旋下小齿轮压紧螺母，用专用夹具取下读数盘， 平面轴承，盆形弹簧片、蜗轮等。在汽油中清洗、烘干，重新涂硬性润滑油脂（杭光 3#或 7107 油脂），重新装配时可在平面轴承与读数盘之间 加 0.2mm 的金属垫片，手感磨擦力有所增加后，依次重新装配，再进行测量检查。