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1.镀层厚度测量:精确测量单层或多层镀层的厚度(精度可达纳米级)。
例如:金/镍/铜三层结构,可以分别测出每一层的厚度。
2.成分分析:分析镀层中各元素的含量百分比。
例如:区分是纯锡镀层还是锡铅合金镀层,或者检测镀液中杂质含量。
3.膜层均匀性扫描:配合XY移动台,可以对大面积工件进行网格化扫描,生成厚度分布图。
1.激发:仪器内部的X射线管发射高能X射线照射样品。
2.荧光效应:样品中的原子被激发,释放出具有特征能量的次级X射线(荧光)。
3.光谱分离:探测器接收荧光,通过能谱分析(EDS)或波长色散(WDS)将不同元素的信号分开。
4.定量计算:根据特征X射线的强度与标准样品的对比,计算出元素种类和对应的膜层厚度。
1.开机前准备
环境检查:确认实验室温度在20-25℃之间,湿度<80%无凝露,无强磁场干扰,通风良好。
电源与气路:连接稳压电源,若仪器需要液氮或水冷系统,检查液位和水流是否正常。
样品台清洁:使用无尘布蘸取少量无水乙醇擦拭样品台和准直器窗口,确保无灰尘、油污。
安全防护:佩戴个人剂量计(如有),穿戴铅围裙(视具体型号要求),确认防护门密封条完好。
2.开机与预热
开启顺序:先开主机电源->再开电脑软件->等待系统自检完成。
真空/气体模式:
如果是真空型:启动真空泵抽真空至设定值(通常<10 Pa)。
如果是空气型:检查光路是否畅通,无需抽真空。
X射线管预热:打开X射线高压,让灯丝预热(通常需15-30分钟),待光强稳定后再进行测量,否则数据会漂移。
3.校准与验证(关键步骤)
标准片校准:
选择与被测样品材质、厚度范围相近的标准物质(Standard Sample)。
放入样品台,执行“校准”或“验证”程序。
仪器会自动对比测量值与标准值,修正曲线。注意:每次更换镀层类型或基材时,必须重新校准。
背景测试:对空白样(无镀层基材)进行测试,扣除背景噪声。
4.样品测量
样品放置:将待测样品平整放置在样品台上,确保待测区域正对光斑中心。
注意:对于曲面样品,需使用专用夹具使其表面水平;微小样品需固定防止震动。
参数设置:在软件中选择对应的分析程序(如“金/镍/铜三层”、“锌/铬双层”等),设置测量时间(通常10-60秒,时间越长精度越高)。
开始测量:关闭防护门,点击“Start”。
安全提示:测量过程中严禁打开防护门,X射线正在发射。
数据读取:测量结束后,记录厚度数值、成分百分比及误差范围。
5.关机流程
退出程序:关闭分析软件。
关闭高压:在软件中执行“关闭X射线”操作。
冷却:等待X射线管冷却(部分高端机型需强制冷却10分钟)。
断电:关闭真空泵(如需)、主机开关、电脑电源。
清理:取出样品,清理台面残留物,盖上防尘罩。
1.每日维护
清洁样品室:每次测量后,用软毛刷或压缩空气清除样品台上的金属碎屑、粉尘。
检查真空度(针对真空型):观察真空计读数,若漏气报警需及时排查密封圈。
记录日志:记录当天的测量数量、异常情况及校准状态。
2.每周/每月维护
光学窗口清洁:
使用专用的镜头纸蘸取少量无水乙醇,轻轻擦拭探测器窗口和X射线管出射窗。
禁忌:严禁使用粗糙布料、手指触摸窗口,严禁使用丙酮等强溶剂。
准直器检查:检查准直器是否有灰尘堵塞,必要时用压缩空气吹扫。
校准验证:使用一块已知厚度的标准片每天或每周进行一次“盲测”,验证仪器精度是否在允许范围内(如±5%)。
3.年度/定期维护
专业校准:联系厂家工程师或使用国家计量院的标准样块进行一级校准,更新分析曲线。
X射线管检查:检查X射线管功率输出是否衰减,必要时更换阳极靶材或灯丝。
内部除尘:由专业人员打开机箱,清理风扇滤网和内部积尘,防止散热不良导致高压打火。
软件升级:更新操作系统和分析算法库。
1.PCB行业:电路板上的沉金(ENIG)、化学镍金、OSP等工艺监控。
2.电子连接器:手机/电脑接口(如USB、HDMI)的镀金、镀银、镀钯金层检测。
3.汽车电子:传感器触点、线束端子的镀层质量控制。
4.五金装饰:水龙头、锁具的镀铬、镀铜、镀镍层检测。
5.半导体封装:引线框架的镀层分析。