配气仪阅读：34

　　一、优点

　　1.高精度配比：现代MFC精度可达±0.5%FS或更高；

　　2.浓度灵活可调：可在宽范围内（如1ppm–100%）设定目标浓度；

　　3.自动化控制：支持程序控制、远程通信（RS485、Modbus、Ethernet）；

　　4.快速响应：动态配气可在数秒至数分钟内完成浓度切换；

　　5.节省高纯气体：相比直接购买标准气瓶，长期使用成本更低。

　　二、缺点

　　初始投资较高：高精度MFC和控制系统成本不菲；

　　1.对气体纯度敏感：原料气杂质会影响最终混合气准确性；

　　2.需定期校准：MFC随时间漂移，需定期用标准流量计校验；

　　3.不适用于所有气体：腐蚀性（如HCl、NH₃）、高活性或易吸附气体可能损坏管路或MFC；

　　4.混合均匀性依赖设计：混合腔结构不良会导致出口浓度波动。

　　一、操作前准备

　　1.检查气体源

　　确认各路原料气钢瓶压力充足（通常＞0.5 MPa）；

　　气体纯度符合要求（如≥99.999%）；

　　使用合适减压阀，输出压力稳定在仪器要求范围（如0.2–0.5 MPa）。

　　2.检查管路连接

　　所有接头紧固，无泄漏（可用检漏液或氦质谱检漏）；

　　管路材质兼容气体性质（如腐蚀性气体需用钝化不锈钢或PTFE）；

　　出口接至用气设备或排气系统（若测试可接至气袋或分析仪）。

　　3.开机预热

　　开启主机电源，预热MFC和控制系统（通常15–30分钟）；

　　部分高精度仪器需进行“零点校准”或“流量自检”。

　　二、正式操作流程

　　1.设定目标浓度/流量

　　通过触摸屏或上位机软件输入：

　　各组分气体名称（如CH₄、CO₂、N₂）；

　　目标浓度（%或ppm）或各路流量（sccm）；

　　总流量或出口压力（如需要）。

　　示例：配制500 ppm CH₄in N₂，总流量1000 sccm→CH₄流量=0.5sccm，N₂=999.5 sccm。

　　2.启动混合程序

　　点击“开始”或“Run”，系统自动开启对应MFC阀门；

　　观察实时流量是否稳定在设定值（波动应＜±1%）。

　　3.吹扫与平衡

　　初始混合气可能含管路残留空气，建议先吹扫2–5分钟；

　　待出口浓度稳定后再接入分析设备或收集样品。

　　4.记录与监控

　　记录配气时间、浓度、环境温湿度；

　　实时监控MFC状态、压力、报警信息。

　　5.结束操作

　　先关闭软件控制，停止气体输出；

　　关闭各路原料气钢瓶阀门；

　　排空管路残余气体（可通入惰性气体吹扫）；

　　关闭主机电源。

　　配气仪主要通过以下方式实现气体精确配比：

　　1.质量流量控制器（MFC）法（动态配气）

　　各路气体分别通过高精度MFC控制流量；

　　按设定比例实时混合，输出连续稳定的混合气；

　　常用于需要连续供气或多浓度梯度切换的场景。

　　2.压力/体积法（静态配气）

　　在密闭容器（如气袋、钢瓶）中，按分压定律（道尔顿定律）依次充入各组分气体；

　　适用于小批量、高精度标准气体制备；

　　操作较慢，不适合连续使用。

　　3.渗透管/扩散管法（用于痕量气体）

　　利用挥发性物质在恒温下的稳定渗透/扩散速率产生低浓度组分；

　　常用于ppb～ppm级VOCs、硫化物等标准气配制。