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氢气流量控制器是一种专门用于精确测量与调节氢气流量的自动化设备,广泛应用于氢能产业、燃料电池测试、石油化工、半导体制造、实验室研究、金属热处理等领域。
1.流量传感器
实时检测氢气的实际流量,常用热式质量流量传感器(Thermal MFM),可直接输出质量流量信号(单位:SLPM、SCCM、Nm3/h),不受温度和压力变化影响。
2.控制阀(调节阀)
根据设定值自动调节开度,控制氢气流量。常见类型包括:
比例阀:线性调节,精度高;
电磁阀+脉宽调制(PWM):适用于开关式或粗调控制;
压电阀:超低功耗、高响应,用于精密控制。
3.控制器(控制电路或嵌入式系统)
接收传感器信号,与设定值比较,通过PID算法输出控制信号驱动阀门,实现闭环调节。
4.显示与操作界面
可配备LCD显示屏、按键或触摸屏,用于设置流量值、查看实时数据、报警信息等。
5.通信接口
支持模拟信号(4-20mA、0-5V、0-10V)或数字通信(RS485、Modbus、CAN、Profibus、Ethernet)与PLC、DCS或上位机连接,实现远程监控与集成控制。
6.外壳与连接件
采用防爆设计(Ex认证),接头为VCR、CGA、NPT等专用氢气密封接口,材料为316L不锈钢或哈氏合金,防止氢脆和泄漏。
1.专为氢气优化设计
所有湿腔材料兼容氢气,防止“氢脆”(Hydrogen Embrittlement);
密封结构采用金属密封(如VCR)或高性能氟橡胶,确保零泄漏;
内部流道光滑无死角,减少滞留和反应风险。
2.高精度与高重复性
精度可达±1%FS或更高;
重复性±0.2%FS,适合精密工艺控制。
3.快速响应
响应时间通常≤1秒,满足动态工况需求(如燃料电池负载变化)。
4.宽量程比
量程比可达100:1或更高,既能控制微小流量(如5 SCCM),也能处理大流量(如500 SLPM)。
5.安全防护功能
内置过流、欠流、超压、断电保护;
支持紧急切断(ESD)联动;
防爆等级可达Ex d IIC T4或更高,适用于危险区域。
6.支持多种气体切换(可选)
部分高端型号可预设多种气体曲线,通过软件切换介质(需重新标定)。
氢气流量控制器采用闭环反馈控制机制,工作流程如下:
1.设定目标流量:用户通过面板或上位机输入所需流量值(如50 SLPM)。
2.实时测量:热式流量传感器检测管道中氢气的实际流量,并转换为电信号。
3.信号比较:控制器将实测值与设定值进行比较,计算偏差。
4.PID调节:控制器根据偏差大小,通过PID算法输出控制信号,调节阀门开度。
5.动态平衡:不断调整直至实际流量稳定在设定值附近,实现精确恒流控制。
1.严禁反向安装:注意气体流向标识,避免损坏传感器。
2.缓慢启停:开启气源时应缓慢加压,防止冲击损坏内部元件。
3.定期校准:建议每6~12个月校准一次,确保测量准确性。
4.避免污染:氢气应清洁干燥,不含油、水、颗粒物。
5.泄漏检测:定期使用氢气检漏仪检查接头和密封处。
6.断电保护:突然断电可能导致阀门状态异常,建议配置备用电源或安全位置设定。
1.确定流量范围
明确最小和最大工作流量,选择合适量程,避免“大马拉小车”。
2.精度与响应要求
实验室和精密控制选高精度型(±0.5%FS),工业场景可选标准型(±1%FS)。
3.气体纯度与压力
高纯氢气(99.999%以上)需选用洁净型流量计;
工作压力一般为0.1~3 MPa,需确认设备耐压等级。
4.安装方式
盘装式:用于控制柜;
一体式:直接安装在管路上;
分体式:传感器与控制器分离,适用于高温或危险区域。
5.通信与集成需求
如需接入自动化系统,优先选择支持Modbus RTU或Ethernet/IP的型号。
6.安全认证
在防爆区域使用,必须选择具备ATEX、IECEx、CNEx等防爆认证的产品。